位移量程1mm, 2mm, 4mm, 10mm, 15mm, 25mm等可选
重复精度最高0.1μm,多种形状接触头可选
回弹式/分体式/真空抽吸式/自由跌落超轻接触式/气动式等多种驱动方式主体外径尺寸φ8mm,可配模拟量信号,数字量信号模块和多通道测量仪表测量产品高度、厚度、内径、外径、平面度、段差、圆柱度等等
一、回弹式(弹簧自复位)位移传感器
采用弹簧自复位驱动方式,内置弹簧弹力可选。具有高性能,高精度,高稳定性等特点。量程1~25mm可选,重复精度高达到0.1 μm,出线方式有直出和侧出等。
二、分体式(带铁芯连杆)位移传感器
采用传感器主体和铁芯连杆分离的方式,驱动机构直接连接铁芯连杆。电感原理,具有高性能,高精度,高稳定性等特点。量程2mm,重复精度高达到0.1μm,出线方式侧出或裸线。
三、真空抽吸式位移传感器
采用真空发生器对传感器腔体抽吸驱动回弹的方式,同时可以当做常规回弹式传感器使用。具有高性能,高精度,高稳定性等特点。量程2~15mm可选,重复精度高达到0.1μm,出线方式侧出
四、自由跌落超轻接触式位移传感器
采用垂直自由落体驱动,无内置弹簧。具有高性能,高精度 ,高稳定性等特点。量程4mm,重复精度达到0.1μm,出线方式有直出和侧出等。对于对测量力有要求的被测物体,例如玻璃,塑料,薄膜,晶片等等,可以选用超轻接触式位移传感器,避免对被测物体的二次伤损。
五、气动式位移传感器
采用压缩空气充气驱动,泄气自行回弹的方式。具有高性能,高精度,高稳定性等特点。量程2~10mm可选,重复精度达到0.1μm,出线方式有直出和侧出等。对于对测量力有要求的被测物体,例如玻璃,塑料,薄膜,晶片等等,可以选用气动超轻接触式位移传感器,避免对被测物体的二次伤损。